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高精度硅諧振壓力傳感器技術概述： 高精度壓力傳感器采用先進的換能機制，利用單晶 硅的良好機械特性，將壓力的作用應力轉化為機械部件 的固有頻率并輸出。該傳感器主要采用以下幾項技術： （1）采用基于雙諧振器的原位溫度自補償技術， 有效解決了傳感器的溫度漂移問題，實現了全溫區 0.01% FS 精度等級； （2）采用全溫區穩幅閉環控制技術，有效降低了 傳感器的非線性誤差，結合溫度自補償技術，有效拓 展了傳感器溫區和提升了寬溫區精度； （3）傳感器采用圓片級的真空封裝技術，保證了傳 感器的綜合性能，有效抑制了傳感器的時間漂移問題。 技術指標：
技術特點： 基于雙諧振器設計的高精度硅諧振壓力傳感器綜合精度高、分辨率高、穩定性好、可靠性強、溫度跟隨性好、溫度范圍和測量范圍大、體積小、功耗低、成本低，能夠批量化制造。 先進程度 ： 國際先進。 技術狀態 ： 小批量生產、工程應用階段。 適用范圍 ： （ 1）航空大氣數據系統。軍用飛機的航空大氣數據系統采用綜合精度優于 0.02%FS 的高精度壓力傳感器，用于測量飛機飛行的高度、速度、攻角等參數。 KSPS超高精度壓力變送器 |
