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硅烷傳感器

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硅烷是一類硅氫有機物的總稱,包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些異構或者更高級的烷類。其中應用最多的是甲硅烷,因此,通常所說的硅烷是指甲硅烷。這是一種才常溫下無色、有刺激性氣味的高危易燃易爆氣體。因其可制作高純度硅及含硅化合物,目前被廣泛應用于半導體、微電子制膜中,并擴展應用到鋼鐵、機械、化工和光學等領域中,每年因此而消耗的硅烷量巨大。

硅烷氣體傳感器采用了電化學的檢測原理。傳感器內部有一對電極并構成電池元件的形式,當被測氣體到達相應的反應電極(感應電極)時,發生化學反應并形成一內部電流。通過測量該與被測氣體濃度成比例關系的電流便可得到氣體的濃度值。為提高測量穩定性,還專門增加了一參考電極,與外部穩壓電路一起可以起到穩定感應電極電勢中的作用。此外,傳感器專家網硅烷氣體傳感器采用了擴散柵欄的設計形式,保證進入傳感器的氣體都能夠與感應電極反應,并保持電極的化學活性,使得傳感器具有良好的使用壽命和溫度穩定性。

型號 量程 使用壽命 響應時間 靈敏度 輸出 分辨率 基線偏移 
SiH4 3E 50 LT 0-50ppm 2年 <60s 130±70nA/ppm 電流 <500ppb <±25nA 



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下載圖標(1).png 硅烷傳感器參考資料↓

 硅烷傳感器.pdf


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