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AWM43600V

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产品说明

氣體質量流量傳感器
AWM40000 系列
微橋質量流量 / 無放大與放大

描述 ：
AWM40000 系列質量流量傳感器家族基于可靠的微橋技術，包括放大信號調理設備類型和無放大僅傳感設備類型。使用無放大設備類型時（AWM42150VH 和 AWM42300V），圖 1 所示的發熱控制電路和圖 2 所示的傳感橋供電電路在相應操作中均需使用。這兩套電路在傳感器中未裝配，應用中需另加。圖 3 中的差分放大器電路可有助提高輸出增益和 / 或調節傳感器輸出電壓偏移（見公式 1）。
放大設備類型（AWM43300V 和 AWM43600V）可用于提高輸出增益和調節電壓偏移。差分放大器電路、發熱控制電路和傳感橋供電電路在放大傳感器中均已裝配。

特點：
● 歧管安裝 /o 型圈密封
● 陶瓷流量管（無引氣管），0-1000 sccm
● 塑料流量管，0-6 SLPM
● 高共模壓力（陶瓷流量管時適用，150 psi）
● 工作溫度可達 125℃（無放大時適用）
● 零點和滿量程時均保持高穩定性


AWM40000 系列訂購指南（電壓 10.0 ±0.01 VDC，溫度 25℃條件下的性能特點）

目錄AWM42150VHAWM42300VAWM2200VAWM2300V
流量范圍（滿量程）±25 sccm±1000 sccm+1000 sccm+6 SLPM
輸出電壓 @ 標定點8.5 mV ±1.5 mV
@ 25 sccm		54.7 mV ±3.7 mV DC
@ 1000 sccm		5 V ±0.15 VDC
@ 1000 sccm		5 V ±0.15 VDC
@ 6 SLPM
零點0.0 ±1.0 mVDC0.0 ±1.5 mVDC1.0 ±0.05 VDC1.0 ±0.05 VDC
熱零點偏移，典型值
+25 至 -25℃ , +25 至 85℃		±0.20 mVDC±0.20 mVDC±0.025 VDC±0.025 VDC
熱輸出電壓偏移，最大值
+25 至 -25℃
+25 至 +85℃		+2.5% Reading 典型值
-2.5% Reading 典型值		+2.5% Reading 最大值
-2.5% Reading 最大值		-5.0% Reading 最大值
+6.0% Reading 最大值		-6.0% Reading 最大值
+6.0% Reading 最大值
功耗 (mW)60（最大值）60（最大值）60（最大值）75（最大值）
重復性與遲滯性，最大值±0.35% Reading (3)±0.50% Reading±0.50% Reading±1.00% Reading
壓降 @ 滿量程（英寸水柱）0.008" H2O ( 典型值 )1.02 ( 典型值 )1.02 ( 典型值 )8.00 ( 典型值 )
激勵電壓 (VDC)8.0 10±0.01 15


響應時間 (msec)（最大值）- 1,0 3.0 (Note 1)


共模壓力 (psi)- - 150 psi (10 Bar) 25 psi (1.7 Bar)


輸出負載NPN（沉流）：10 mA
PNP（源流）：20 mA


溫度范圍工作溫度 ：-40o 至 +125℃ (-40o 至 +251oF) ；
儲存溫度 ：-40o 至 +125℃ (-40o 至 +251oF)
工作溫度 ：-25o 至 +80℃ (-40o 至 +185oF) ；
儲存溫度 ：-40o 至 +90℃ (-40o 至 +194oF)
標定氣體氮氣
比率誤差±0.30% Reading
重量（克）14 g                      11 g
沖擊100g 峰值（5 次沖擊，6 軸向）
引腳2,54 mm(.100") 中心距，0,635 mm (0.025") 封裝厚度

注 ：
1. 從 10-90% 響應時間一般為 1 毫秒。
2. 重復性與遲滯性容差反映了測量設備固有的不精確度。
3. 為避免損壞，最大允許流量變化率為 5.0 SLPM/1.0 sec。



AWM40000 系列氣體質量流量傳感器

氣體質量流量傳感器.pdf




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